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德國Heidelberg 刻蝕機 機器視覺

更新時間:2023-07-23

訪問量:3041

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:德國

簡要描述:
德國Heidelberg 刻蝕機DWL 2000 GS / DWL 4000 GS 激光光刻系統(tǒng)是快速靈活的高分辨率圖案生成器。它們針對工業(yè)級灰度光刻進行了優(yōu)化,專為集成電路、MEMS、微光學和微流體設備、傳感器、全息圖以及**特征的掩模和晶圓的高通量圖案化而設計。
品牌其他品牌加工定制
自動化程度應用領域蝕刻
組成部分多部分重量500kg
質(zhì)保3年

標題:供應德國Heidelberg Instruments刻蝕機 DWL 2000 GS系列

 

德國Heidelberg Instruments刻蝕機公司介紹:

德國Heidelberg 刻蝕機海德堡儀器是設計、開發(fā)和制造高精度激光光刻系統(tǒng)、無掩模對準器和納米加工工具的世界領導*。憑借超過 35 年的經(jīng)驗和在*球安裝的 1,300 多套系統(tǒng), 海德堡儀器 提供專門定制的光刻解決方案,以滿足我們**客戶的微加工和納米加工要求 - 無論多么具有挑戰(zhàn)性。在我們位于德國、瑞士和中國的過程和應用實驗室 (PAL) 中,工程師們對我們的客戶進行培訓并與他們密切合作,以充分利用他們的海德堡儀器設備。 行業(yè)利益相關者,以及世界各地最的大學和研究機構的工作組,都使用海德堡儀器的系統(tǒng)進行的微米和納米圖案化。應用領域包括微光學和微系統(tǒng)技術、光子學、電子學、半導體/封裝、量子計算、MEMS/NEMS、微機械學、生物醫(yī)學工程、二維材料、物聯(lián)網(wǎng)等等。 

 

Heidelberg Instruments刻蝕機介紹:

德國Heidelberg 刻蝕機DWL 2000 GS / DWL 4000 GS 激光光刻系統(tǒng)是快速靈活的高分辨率圖案生成器。它們針對工業(yè)級灰度光刻進行了優(yōu)化,專為集成電路、MEMS、微光學和微流體設備、傳感器、全息圖以及**特征的掩模和晶圓的高通量圖案化而設計。專業(yè)灰度光刻模式可以在大面積厚光刻膠中形成復雜的 2.5D 結構圖案。DWL 2000 GS / DWL 4000 GS 系統(tǒng)具有 500 nm 的最小特征尺寸、高達 400 x 400 mm 2的寫入?yún)^(qū)域和可選的自動加載系統(tǒng),特別適用于用于電信、照明的晶圓級微光學器件和工業(yè)顯示器制造,以及生命科學中的設備制造。

Heidelberg Instruments刻蝕機功能參數(shù)特點:

2  曝光質(zhì)量

2  CD 均勻性 60 nm;邊緣粗糙度 40 納米;對準精度 60 nm;第二層對準 250 nm;自動對焦補償 80 µm

2  灰度光刻

2  1000級灰度;專用 GenISys BEAMER 軟件,用于優(yōu)化復雜幾何形狀的曝光

2  溫控流動箱

2  溫度穩(wěn)定性 ± 0.1°,ISO 4 環(huán)境

2  *速度

2  灰度模式下 200 x 200 mm 2 的面積<60 分鐘

2  基板尺寸大

2  高達 20 / 40 厘米

 

Heidelberg Instruments刻蝕機應用:

2  微光學

2  材料科學

2  微流體等

 

Heidelberg Instruments刻蝕機主要型號:

2  DWL 2000 GS 系列

2  DWL 4000 GS 系列

 


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